Ha sede a Santa Barbara, nota località balneare californiana, la più grande fonderia statunitense specializzata unicamente nella fabbricazione di Mems (Micro-ElectroMechanical Systems). Si tratta di IMT (Innovative Micro Technology), una società fondata nel 2000 che oggi rivendica un ruolo di leadership in questo settore. Nel corso di un recente incontro con la stampa, il vicepresidente per lo sviluppo del business Craig Trautman ha infatti presentato l’azienda elencando una lunga serie di primati: IMT ha prodotto grandi quantità di Mems (oltre 62 milioni di switch) e tra i suoi fiori all’occhiello sono compresi i processi di fabbricazione più precisi (con la possibilità di realizzare un milione di fori in un unico chip); il Mems più veloce del mondo (da zero a 1,4 metri al secondo e ritorno in 15 microsecondi, accelerazione media di 12.000 G); il Mems più sensibile del mondo (sensori di massa nell’ordine dell’attogrammo); e infine i Mems più complessi (fino a cinque wafer sovrapposti, possibilità di integrare ottica riflettiva e rifrattiva, di realizzare sistemi microfluidici tridimensionali, attuatori azionati magneticamente ecc.). La società opera praticamente in tutti i settori applicativi dei Mems: sistemi a radiofrequenza (con dispositivi come switch, interposer ecc.), infrarossi (sistemi per visione notturna ecc.), energia, sistemi di collaudo, apparati biomedicali, biotecnologie, ottica (Wss/Roadm, Variable Optical Attenuator, Planar Lightwave Circuits), dispositivi per navigazione (accelerometri, giroscopi ecc.). La capacità produttiva annua di IMT è di 45.000 wafer da sei pollici; tra i suoi punti di forza tecnologici è compresa un’offerta di diversi metodi di wafer bonding per il confezionamento ermetico wafer-level, nonché un processo collaudato per la realizzazione di Tsv (Through Silicon Via) placcate in rame.
Non solo fabbricazione
A differenza delle fonderie che fabbricano circuiti integrati, IMT offre anche una gamma di servizi oltre alla pura e semplice lavorazione del silicio. “Essendo una fonderia di Mems dobbiamo fare anche tante altre cose”, ha spiegato Trautman. In particolare, IMT è in grado di assistere i clienti nella realizzazione del progetto di un nuovo dispositivo Mems, sviluppando l’idea iniziale con l’aiuto di una notevole mole di IP (Intellectual Property). Nel corso dei propri dodici anni di vita, infatti, la società ha creato un grande repertorio di blocchi costruttivi in un formato equivalente a ciò che nel settore dei circuiti integrati viene definito “soft IP”. Utilizzando blocchi di IP preesistenti diviene possibile abbreviare i tempi di sviluppo di un nuovo Mems. Ad esempio, sono stati sufficienti sei mesi per realizzare - sulla base dell’idea proposta da un’industria farmaceutica - una micro-pompa per un dispositivo che consente di iniettare farmaci tramite una schiera di micro-aghi.
Un’applicazione: il “cell sorter” di Owl Biomedical
Tra i possibili esempi applicativi dei Mems realizzati da IMT, la società assegna particolare importanza al sistema di selezione delle cellule (cell sorter) recentemente realizzato dalla società Owl Biomedical, anch’essa avente sede a Santa Barbara. Ricordiamo brevemente che in medicina la selezione delle cellule prelevate dal corpo del paziente viene utilizzata in numerose terapie per la cura di gravi patologie. Il mercato offre una varietà di sistemi per la selezione delle cellule, basati su principi diversi; il sistema Nanosorter di Owl Biomedical è basato sul collaudato principio Facs (Fluorescence-Activated Sorting), utilizzato in combinazione con un dispositivo meccanico che impiega una microvalvola Mems realizzata da IMT. La microvalvola (la più veloce al mondo, secondo IMT) è collocata all’interno di una cartuccia monouso che rende molto comodo l’impiego dell’apparecchiatura. Grazie anche al Mems di IMT, il Nanosorter di Owl Biomedical è in grado di offrire prestazioni molto competitive: la sua velocità gli consente di selezionare grandi quantità di cellule (fino a 200 milioni all’ora) senza diffonderle nell’aria, cosa che metterebbe a rischio la salute degli operatori; il sistema, inoltre, assicura la sopravvivenza di oltre il 97% delle cellule selezionate.
