La microlavorazione superficiale costituisce una delle due principali tecniche per costruire microstrutture a Mems; l’altra è rappresentata dalla microlavorazione di bulk. Stando a quanto stima Bcc Research, la prima accrescerà la propria supremazia nello sviluppo dei Mems di oltre il 7%, mentre la seconda perderà una quota equivalente di mercato. I Mems sono dispositivi che integrano elementi meccanici, sensori, attuatori ed elettronica su un sostrato comune di silicio; hanno generalmente dimensioni comprese fra 1 e 100 micron e sono spesso anche indicati come microsistemi, o con termini come nanotools e nanodevices.
