Sensore digitale di pressione

MEMS –

STMicroelectronics fa un importante passo avanti nei sistemi per identificare con precisione la posizione nello spazio 3D proponendo il più piccolo sensore digitale di pressione al mondo che utilizza una tecnologia Mems.

STMicroelectronics ha presentato un nuovo sensore di pressione che permette ai telefoni cellulari e ad altri dispositivi portatili di calcolare la propria elevazione verticale rispetto al livello del mare con grande accuratezza. Il sistema portatile non potrà solo identificare il piano, all'interno dell'edificio, ma addirittura arrivare quasi a riconoscere il gradino della scala su cui si trova.
Il dispositivo LPS331AP della ST per la misura della pressione è fabbricato utilizzando una tecnologia Mems proprietaria, “VENSENS”, che permette di “costruire” i sensori di pressione su un chip di silicio monolitico. Questa modalità di produzione elimina così le connessioni tra due differenti wafer di silicio rendendo al massimo l'affidabilità. L'elemento utilizzato dall'LPS331AP per rilevare la pressione è basato su una membrana flessibile di silicio formata al di sopra di una cavità d'aria con un interstizio controllato e una pressione interna ben definita. La membrana è molto piccola rispetto alle tradizionali membrane di silicio ottenute tramite lavorazione micro-meccanica ed è protetta da eventuali rotture usando distanziatori meccanici integrati. Nella membrana è incorporato un piezoresistore, una minuscola struttura la cui resistenza elettrica varia quando la membrana si flette in seguito ai cambiamenti della pressione esterna. La conseguente variazione di resistenza viene monitorata, compensata termicamente e convertita in un valore digitale che può essere letto dal processore di controllo del sistema, utilizzando le interfacce standard industriali I2C o SPI.

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