Il surface micromachining domina nei Mems

La microlavorazione superficiale costituisce una delle due principali tecniche per costruire microstrutture in tecnologia Mems; l’altra è rappresentata dalla microlavorazione di bulk. Stando a quanto stima la Bcc Research, la prima accrescerà la propria supremazia nello sviluppo dei Mems di oltre il 7%, mentre la seconda perderà una quota equivalente di mercato. I Mems sono dispositivi che integrano elementi meccanici, sensori, attuatori ed elettronica su un sostrato comune di silicio; hanno generalmente dimensioni comprese fra 1 e 100 micron (1 micron equivale a 1 milionesimo di metro) e sono spesso anche indicati come microsistemi, specialmente in Europa, oppure – in inglese – con termini come nanotools e nanodevices.


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